九州酷游ku游登录平台上海推出全新升级版先进封装用涂胶装备，，，，，，， ，性能更卓越
2022-5-27 9:51:50
封装测试作为IC工业链主要一环，，，，，，， ，与芯片设计、制造并举，，，，，，， ，2021年全球封装市场规模约达777亿美元，，，，，，， ，并且先进封装市场将一连上扬，，，，，，， ，据Yole1统计，，，，，，， ，2021年先进封装市场规模为321亿美元，，，，，，， ，预期将以10%的年均复合增添率生长，，，，，，， ，至2027年可达572亿美元。。。。。在摩尔定律趋近工艺极限之时，，，，，，， ，业界发明了先进封装的可能性，，，，，，， ，由平面化到三维架构，，，，，，， ，先进晶圆级封装对芯片性能的提升，，，，，，， ，给予了上下游工业更多的空间。。。。。
九州酷游ku游登录平台上海在该领域有多年履历，，，，，，， ，可成套定制、高端湿法晶圆工艺装备，，，，，，， ，以支持实现铜（Cu）柱和金（Au）凸块等先进晶圆级封装工艺，，，，，，， ，以及硅通孔（TSV）、扇出（Fan-out）及小芯片等工艺。。。。。产品可笼罩完整的工艺流程，，，，，，， ，包括洗濯、涂胶、显影、电镀、平展化电抛光、光刻胶去除及湿法蚀刻等。。。。。年头以来九州酷游ku游登录平台上海已多次收到先进封装洗濯装备的采购订单，，，，，，， ，及电镀装备的批量订单，，，，，，， ，最近又推出升级版的涂胶装备，，，，，，， ，该款装备在性能和外观举行了优化，，，，，，， ，应用于先进晶圆级封装。。。。。
该涂胶装备兼容200mm和300mm晶圆，，，，，，， ，可执行晶圆级封装光刻工艺的要害办法，，，，，，， ，如光刻胶和Polyimide涂布、软烤；；；；；；还可使用立异性要领和精准的涂胶控制，，，，，，， ，实现准确的阻挡边沿扫除效果。。。。。涂胶腔内接纳了九州酷游ku游登录平台上海专有的全方位无死角自动洗濯手艺，，，，，，， ，可以缩短装备预防性维护（PM）的时间，，，，，，， ，尤其是针对光刻胶厚度较高（甚至凌驾 100µm）的涂胶应用。。。。。
（旧款机台尺寸：宽2550mm长2150mm 高2650mm，，，，，，， ，新款机台尺寸：宽2150mm长1800mm 高2650mm，，，，，，， ，占地面积镌汰30%）
设计升级后的涂胶装备整体尺寸减小�。。。。�，，，，，， ，内部空间更为紧凑，，，，，，， ，相比旧款机台，，，，，，， ，占地面积镌汰30%，，，，，，， ，高效使用厂房空间。。。。。同时对称式漫衍的整体设计，，，，，，， ，Loadport改为双开门的设计，，，，，，， ，使装备更雅观。。。。。该装备性能上也有所升级，，，，，，， ，可选配腔体自动洗濯功效，，，，，，， ，能够镌汰按期维修次数实时间，，，，，，， ，同时可提供无腔体自动洗濯功效的简化版供客户选择。。。。。在腔体设计中，，，，，，， ，将两个单独腔体合二为一，，，，，，， ，使整体空间更为紧凑，，，，，，， ，同时接纳完全密封设计，，，，，，， ，可阻止工艺历程中使用的药液影响外部情形。。。。。该装备8/12寸晶圆传输系统的自动识别设计，，，，，，， ，可阻止晶圆尺寸与腔体设置不符时造成碎片情形的爆发，，，，，，， ，有用镌汰因人为误操作造成的损失。。。。。值得一提的是，，，，，，， ，该涂胶装备还升级了热板的结构，，，，，，， ，在腔体结构紧凑的条件下，，，，，，， ，新设计可实现热板抽屉式抽出，，，，，，， ，利便维修及替换，，，，，，， ，同时立异的定位设计可包管热板重复抽出后准确复位，，，，，，， ，有用包管工序运行。。。。。
继建设小芯片同盟后，，，，，，， ，英特尔、台积电和三星等芯片制造巨头加大结构先进封装领域。。。。。海内封测厂商扩张先进封装产能，，，，，，， ，国产半导体装备历程加速，，，，，，， ，九州酷游ku游登录平台上海今年客户需求依然兴旺，，，，，，， ，公司订单坚持强劲，，，，，，， ，产能扩张妄想推进顺遂。。。。。此次全新升级的涂胶装备自推出以来已获得差别客户的多台订单，，，，，，， ，有助于获得更多目的市场份额，，，，，，， ，增添了九州酷游ku游登录平台上海湿法成套装备的竞争力，，，，，，， ，为客户提供一站式服务。。。。。
数据泉源：
1. www.eet-china.com/mp/a129819.html
