九州酷游ku游登录平台(以下简称九州酷游ku游登录平台上海)（科创板股票代码：688082），，，，，，一家为半导体前道和先进晶圆级封装（WLP）应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商，，，，，，于今日宣布其已接到29台Ultra C wb槽式湿法洗濯装备的批量采购订单，，，，，，该装备可应用于加工300mm晶圆，，，，，，其中16台装备的重复订单来自统一家中国海内代工厂，，，，，，重复订单的目的是支持该工厂的扩产。。。。。 。。。这批装备妄想从2022年最先分两个阶段发货。。。。。 。。。
Ultra C wb槽式湿法洗濯装备的主要洗濯应用包括炉管前洗濯、RCA洗濯、光阻去除、氧化层刻蚀、氮化硅去除，，，，，，以及晶圆接纳工艺中前段FEOL多晶硅/氧化硅层剥离去除，，，，，，和后段BEOL金属层剥离去除。。。。。 。。�？？？？？？梢陨柚米粤Φ亩嘀只б合村∕CR）�？？？？？？椋�，，，，，按差别的工艺组合在该�？？？？？？橹幸来问褂枚嘀窒村┮海�，，，，，如SC1、SC2、DHF、DIO3、DIW等。。。。。 。。。洗濯效果好，，，，，，阻止交织污染，，，，，，本钱低。。。。。 。。。Ultra C wb槽式湿法洗濯装备有用使用化学药液和去离子水（DIW），，，，，，情形友好。。。。。 。。。且依附其精巧的�？？？？？？榛杓疲�，，，，，占用空间小的优点，，，，，，可以在生产车间无邪设置。。。。。 。。。
